
在可加工材料及技術實現層麵,該設備適用於多類精密材料:
半導體材料:如單晶矽、碳化矽晶圓,通過金剛石研磨液的機械切削與堿性拋光液的化學腐蝕,去除晶圓表麵損傷層,獲得超平整鏡麵,為光刻工藝提供基礎;
陶瓷材料:包括氧化鋁陶瓷、氮化矽陶瓷,采用軟質拋光墊配合膠體二氧化矽拋光液,通過微納級顆粒的機械研磨與化學鈍化,實現陶瓷表麵的鏡麵化,提升其耐磨性與絕緣性;
金屬材料:如鎢合金、鈦合金精密部件,利用金剛石複合拋光液,結合可控的拋光壓力與轉速,消除金屬表麵加工紋路,形成鏡麵。
在行業應用及關鍵作用方麵
半導體行業,鏡麵拋光機是晶圓製造的核心設備,其加工精度直接決定芯片的良率與性能;
電子陶瓷行業,用於製備陶瓷基板、封裝外殼的鏡麵表麵,保障電子元件的散熱效率與絕緣可靠性;
精密機械行業,對液壓閥閥芯、光學儀器金屬部件進行鏡麵拋光,降低表麵摩擦係數,提升設備的密封性能與運動精度。
鏡麵拋光機通過精準控製拋光壓力、轉速、拋光液配比等參數,實現不同材料的超精密表麵加工,為高端製造領域提供了關鍵的表麵處理解決方案。









